고순도 99.8% 티타늄 등급 7라운드 스퍼터링 타겟 코팅 공장 공급업체용 티타늄 합금 타겟
제품 매개변수
| 제품명 | PVD 코팅기용 티타늄 타겟 |
| 등급 | 티타늄(Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)합금 타겟: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr 등 |
| 기원 | 중국 산시성 바오지시 |
| 티타늄 함량 | ≥99.5(%) |
| 불순물 함량 | <0.02(%) |
| 밀도 | 4.51 또는 4.50 g/cm3 |
| 기준 | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
| 크기 | 1. 원형 타겟: Ø30--2000mm, 두께 3.0mm--300mm;2. 플레이트 타겟: 길이: 200-500mm 너비: 100-230mm 두께: 3--40mm;3. 튜브 타겟: 직경: 30-200mm 두께: 5-20mm 길이: 500-2000mm;4. 맞춤형 제작이 가능합니다 |
| 기술 | 단조 및 CNC 가공 |
| 애플리케이션 | 반도체 분리막, 필름코팅재료, 저장전극코팅, 스퍼터링코팅, 표면코팅, 유리코팅산업. |
티타늄 타겟의 화학적 요구 사항
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | 지아이에스 H4600 | 원소 함량(≤wt%) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | 기타 | ||||
| 순수 티타늄 | 1학년 | 타1 | 1학년 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.20 | 0.18 | / |
| 2학년 | 타2 | 2학년 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | |
| 티탄합금 | 5학년 | TC4Ti-6Al-4V | 60학년 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.40 | 0.2 | 알:5.5-6.75 V:3.5-4.5 |
| 7학년 | 타9 | 12학년 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | 파디:0.12-0.25 | |
| 12학년 | 타10 | 60E반 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | 몰리브덴:0.2-0.4 니켈:0.6-0.9 | |
실온에서의 종방향 기계적 특성
| 등급 | 인장강도RM/MPa(>=) | 항복 강도Rp0.2(MPa) | 연장A4D(%) | 면적 감소지(%) |
| 그1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| 그2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| 그5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| 그7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| 12학년 | 485 | 345 | 18 | 25 |
티타늄 스퍼터링 타겟
티타늄 스퍼터 타겟의 일반적인 크기는 Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 등입니다.
고객의 요청이나 도면에 따라 맞춤 제작도 가능합니다.
목표 요구사항: 높은 순도, 균일한 결정립, 양호한 치밀성.
순도: 99.5%, 99.95%, 99.98%, 99.995%.
티타늄 타겟 생산 공정
티타늄 스펀지 --- 티타늄 잉곳으로 제련 --- 테스트 --- 잉곳 절단 --- 단조 --- 압연 --- 벗겨내기 --- 교정 --- 초음파 결함 탐지 --- 포장
티타늄 타겟 특징
1. 낮은 밀도와 높은 사양 강도
2. 우수한 내식성
3. 열의 영향에 대한 우수한 저항성
4. 극저온 특성에 대한 우수한 베어링
5. 비자성 및 무독성
6. 우수한 열적 특성
7. 낮은 탄성계수
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