고순도 99.8% 티타늄 7라운드 스퍼터링 타겟, 코팅 공장용 티타늄 합금 타겟 공급업체
제품 매개변수
| 제품명 | PVD 코팅 장비용 티타늄 타겟 |
| 등급 | 티타늄(Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)합금 타겟: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr 등 |
| 기원 | 중국 산시성 바오지시 |
| 티타늄 함량 | ≥99.5% (%) |
| 불순물 함량 | <0.02 (%) |
| 밀도 | 4.51 또는 4.50 g/cm3 |
| 기준 | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
| 크기 | 1. 원형 표적: 직경 30~2000mm, 두께 3.0mm~300mm;2. 판재 크기: 길이: 200-500mm, 너비: 100-230mm, 두께: 3-40mm;3. 튜브 대상 규격: 직경: 30-200mm, 두께: 5-20mm, 길이: 500-2000mm;4. 맞춤 제작이 가능합니다. |
| 기술 | 단조 및 CNC 가공 |
| 애플리케이션 | 반도체 분리, 박막 코팅 재료, 저장 전극 코팅, 스퍼터링 코팅, 표면 코팅, 유리 코팅 산업. |
티타늄 타겟의 화학적 요구 사항
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | 원소 함량(≤중량%) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | 기타 | ||||
| 순수 티타늄 | 1학년 | TA1 | 클래스1 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.20 | 0.18 | / |
| 2학년 | TA2 | 클래스2 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | |
| 티탄합금 | 5학년 | TC4Ti-6Al-4V | 클래스60 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.40 | 0.2 | Al:5.5-6.75 V:3.5-4.5 |
| 7학년 | TA9 | 12반 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | Pd:0.12-0.25 | |
| 12학년 | TA10 | 클래스60E | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | 월:0.2-0.4 Ni:0.6-0.9 | |
상온에서의 종방향 기계적 특성
| 등급 | 인장 강도Rm/MPa(>=) | 항복 강도0.2 루피(MPa) | 연장A4D(%) | 면적 감소지(%) |
| 그르1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| 7학년 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| 12학년 | 485 | 345 | 18 | 25 |
티타늄 스퍼터링 타겟
일반적인 티타늄 스퍼터 타겟의 크기는 Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 등입니다.
고객의 요청이나 도면에 따라 맞춤 제작도 가능합니다.
목표 요구사항: 높은 순도, 균일한 결정립, 우수한 치밀도.
순도: 99.5%, 99.95%, 99.98%, 99.995%.
티타늄 타겟 생산 공정
티타늄 스펀지 --- 티타늄 잉곳으로 제련 --- 시험 --- 잉곳 절단 --- 단조 --- 압연 --- 박피 --- 교정 --- 초음파 결함 검사 --- 포장
티타늄 타겟 특징
1. 낮은 밀도와 높은 사양 강도
2. 뛰어난 내식성
3. 열에 대한 우수한 저항성
4. 극저온 환경에 대한 우수한 베어링 특성
5. 비자성 및 무독성
6. 우수한 열적 특성
7. 낮은 탄성 계수
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