탄탈 룸 대상
제품 매개 변수
제품 이름 : 고순도 탄탈 룸 표적 순수한 탄탈 룸 대상 | |
재료 | 탄탈 |
청정 | 99.95%분 또는 99.99%분 |
색상 | 부식에 매우 저항하는 반짝이는 은빛 금속. |
다른 이름 | TA 대상 |
기준 | ASTM B 708 |
크기 | dia> 10mm * 두께> 0.1mm |
모양 | 평면 |
모크 | 5pcs |
배달 시간 | 7 일 |
사용된 | 스퍼터링 코팅 기계 |
표 1 : 화학 조성
화학 (%) | |||||||||||||
지정 | 최고 구성 요소 | 불순물 maxmium | |||||||||||
Ta | Nb | Fe | Si | Ni | W | Mo | Ti | Nb | O | C | H | N | |
TA1 | 나머지 | 0.004 | 0.003 | 0.002 | 0.004 | 0.006 | 0.002 | 0.03 | 0.015 | 0.004 | 0.0015 | 0.002 | |
TA2 | 나머지 | 0.01 | 0.01 | 0.005 | 0.02 | 0.02 | 0.005 | 0.08 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
표 2 : 기계적 요구 사항 (어닐링 조건)
등급과 크기 | 어닐링 | ||
인장 강도최소, PSI (MPA) | 항복 강도 최소, PSI (MPA) (2%) | 신장 최소, % (1 인치 게이지 길이) | |
시트, 호일. 및 보드 (RO5200, RO5400) 두께 <0.060 "(1.524mm)두께 0.060 "(1.524mm) | 30000 (207) | 200000 (138) | 20 |
25000 (172) | 15000 (103) | 30 | |
TA-10W (RO5255)시트, 호일. 그리고 보드 | 70000 (482) | 60000 (414) | 15 |
70000 (482) | 55000 (379) | 20 | |
TA-2.5W (RO5252)두께 <0.125 "(3.175mm)두께 0.125 "(3.175mm) | 40000 (276) | 30000 (207) | 20 |
40000 (276) | 22000 (152) | 25 | |
TA-40NB (RO5240)두께 <0.060 "(1.524mm) | 40000 (276) | 200000 (138) | 25 |
두께> 0.060 "(1.524mm) | 35000 (241) | 15000 (103) | 25 |
크기와 순도
직경 : 직경 (50 ~ 400) mm
두께 : (3 ~ 28mm)
등급 : RO5200, RO 5400, RO5252 (TA-2.5W), RO5255 (TA-10W)
순도 :> = 99.95%,> = 99.99%
우리의 이점
재결정 화 : 95% 최소 입자 크기 : 최소 40μm 표면 거칠기 : RA 0.4 최대 평탄도 : 0.1mm 또는 0.10% max. 공차 : 직경 내성 +/- 0.254
애플리케이션
전극 재료 및 표면 엔지니어링 재료로서의 탄탈 룸 표적은 액정 디스플레이 (LCD), 내열 부식 및 고도도의 코팅 산업에서 널리 사용되어왔다.